本文转自：半岛网
半岛网3月9日讯（采访人员徐圆 通讯员 肖玲玲 李青健）近日 ， 青岛高新区2022年春季10个重点项目正式启动建设 。其中 ， 总投资7亿元的华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目 ， 将建设半导体衬底智能生产工厂 ， 加工生产新一代晶片衬底产品 ， 有效突破我国芯片制约性难题 。
作为新一代信息技术产业的细分领域 ， 半导体一直是青岛高新区产业布局的重点方向 ， 目前已有20多家上下游企业在这里集聚 ， 形成了包括芯片设计、封装测试、设备制造、材料加工等在内的半导体全产业链雏形 。

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年产33万片 ， 助力突破芯片难题
近日 ， 在青岛高新区 ， 华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目正式启动建设 ， 该项目采用碳化硅、氮化镓、氧化镓等第三代半导体化合物材料加工生产相关芯片衬底产品 ， 广泛用于光电子器件（激光器、探测器等） ， 大功率器件（充电桩、新能源汽车动力组件、轨道交通、特高压输电组件等） ， 及通讯微波射频器件（4G、5G通讯基站） 。
“我们深耕半导体化合物基础材料研发和生产多年 ， 具备了蓝宝石、磷化铟、碳化硅、氧化镓等一系列第二代、第三代半导体化合物的技术储备和产业化能力 ， 致力于打造青岛市半导体产业链科技创新平台 。”青岛华芯晶元半导体科技有限公司董事长肖迪表示 。氧化镓晶体是一种新型的超宽禁带半导体 ， 它具有禁带宽度更大、吸收截止边更短、生长成本更低等突出优点 ， 成为超高压功率器件和深紫外光电子器件的优选材料之一 。由于在军事、能源、医疗、环境等领域有重要应用价值 ， 近年来 ， 氧化镓材料及器件的研究与应用 ， 呈现出显著的加速发展势头 ， 是当前德国、日本、美国等国家的研究热点和竞争重点 。
据悉 ， 该项目将建设半导体衬底智能生产工厂 ， 加工生产新一代晶片衬底产品 ， 助力突破我国芯片制约性难题 ， 达产后将实现年产第三代大尺寸半导体化合物晶片衬底33万片 ， 年产值5亿元 。该项目的顺利开工 ， 标志着华芯第三代半导体材料批量生产进入了实质性阶段 ， 为我国第三代半导体的产业化迈出了坚实的一步 。

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“链式”招引 ， 贯通上下游产业链
华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目的落地 ， 加速了半导体产业在青岛高新区的集聚 ， 也为青岛新一代信息技术产业增添了强劲的“芯”动力 。
作为新一代信息技术产业的细分领域 ， 半导体一直是青岛高新区产业布局的重点方向 。据青岛高新区新一代信息技术产业事业部相关工作人员介绍 ， 半导体产品生产流程十分复杂 ， 大致可分为设计、制造、封装、测试等环节 ， 而青岛高新区的半导体产业大致可分为设备类、材料类、设计类、制造类等 。
在设备类的企业中 ， 埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司、高测股份、青岛赛瑞达电子科技有限公司是代表企业 。其中 ， 埃地沃兹是世界500强企业阿特拉斯·科普柯集团旗下的品牌企业 ， 其产品半导体真空设备干泵的全球市场占有率连续多年超过50% ， 成为该领域世界第一品牌 。“我们的合作伙伴包括京东方、长江存储、三星、台积电和富士康等半导体领域知名企业 。” 埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司相关负责人介绍 ， 真空泵市场在持续膨胀中 ， 尤其是中国市场已进入快速增长期 ， 发展前景广阔 。