半导体氮化铝加热器heater国内生产情况在半导体晶圆生产的过程中

【半导体氮化铝加热器heater国内生产情况】在半导体晶圆生产的过程中，常常会用到一些热导性能好而且绝缘性好的氮化铝陶瓷制品，但是由于材料的生产工艺复杂，以及加工工艺的不够成熟，多年来这类配件一直依赖进口。美国、日本、欧洲等发达国家在这一领域长期处于垄断地位，这两年由于美国对中国企业疯狂打压，使得国内的半导体制造企业很难买到这些关键产品，这一现状也刺激了国内的相关企业开始在这一领域加大研发力度。据了解，目前国内已经有包括钧杰陶瓷等多家企业，开始生产出完全合格的氮化铝陶瓷加热器heater 。据钧杰陶瓷的技术总监何工透露，目前他们能够生产出直径超320mm厚度超26mm的大型氮化铝陶瓷圆片。这些圆片经过精密加工后就成为了一件热导性能出众，绝缘性好的加热器组件。

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氮化铝heater
ALN基板是最流行的陶瓷基板之一，具有优异的耐热性，高机械强度，耐磨性和小介电损耗。AlN衬底的表面非常光滑，孔隙率低。与氧化铝基材相比，氮化铝具有较高的导热性，其高约7至8倍。ALN衬底是优异的电子封装材料。SWI为广泛的应用提供ALN衬底，包括薄膜和厚膜微电子，大功率和高频电路RF/微波部件和电容器或电阻器，请与我们联系，了解更多陶瓷晶圆产品信息。