1月12日 ， 中电科电子装备集团有限公司（下称“电科装备”）举办新品发布会 ， 发布了RSC-6000异质结等离子体增强化学气相淀积设备（PECVD）设备等5款全新产品 ， 未来将主要应用于新一代TOPCon电池和异质结电池工艺 。
国家能源局新能源司副司长任育之曾指出 ， 近年来 ， 我国光伏发电技术加速迭代 ， 不断刷新转换效率世界纪录 ， 成本持续下降 ， 有力支撑了我国光伏发电进入平价无补贴的发展阶段 。
光伏发电技术的进步、应用规模的扩大 ， 是光伏装备产业稳步疾行的结果 。顺应技术发展趋势 ， 接连推出适应产业的新型设备 ， 以电科装备为代表的光伏企业紧跟行业发展动向 ， 正源源不断向市场输送具有竞争力的产品 。


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促新技术产业化发展
据了解 ， 电科装备发布了5款新品 ， 分别为RSC-6000异质结PECVD设备、M5211-2/UM型低压硼扩散设备、M5311-1/UM型LPCVD（低压化学气相淀积）设备、M82300-12UM型大管径PECVD设备和M5211-6/UM型立式硼扩散设备 。
这些设备最大的特点是支持TOPCon和异质结电池工艺 ， 且性能较上一代大幅提升 。比如 ， 低压硼扩散设备用于N型晶体硅PN结的制备 ， 是TOPCon工艺关键工艺设备 。新推出的M5211-2/UM型低压硼扩散设备相对于上一代产品产能可提升30%以上 。M5211-6/UM型立式硼扩散设备则是新研制的TOPCon技术硼掺杂解决方案 ， 与行业现有设备相比 ， 在同产能的情况下 ， 能耗将减少20%以上 。
据悉 ， 和目前行业主流技术PERC不同 ， TOPCon和异质结是新型技术 。电科装备发布的新品在光伏装备方面为下一代工艺路线提供了核心技术支撑 。
电科装备董事长、党委书记左雷从光伏产业技术迭代上阐述了光伏装备革新的重要性 。“2017年至今 ， PERC电池经历了5年的发展 ， 全球产能达到4亿千瓦 ， 为光伏行业实现平价上网做出了巨大贡献 ， 但随着技术发展 ， PERC电池技术的转换效率与成本已经接近极限 ， 不能适应未来的发展 。近两年来 ， 以TOPCon、异质结为代表的新一代电池技术在众多光伏行业人士的努力下已实现产业化 ， 尤其在转换效率等方面与PERC电池比具有明显优势 ， 随着技术发展 ， TOPCon、异质结等新一代电池技术取代PERC电池是大势所趋 。不论从推动行业技术发展 ， 还是企业自身发展的角度 ， 开发、升级TOPCon和异质结技术都是必要的 。”左雷说 。
从2018年起 ， 在PERC电池技术已经发展成熟的大背景下 ， 电科装备应行业需求 ， 通过充分论证 ， 与天合光能、通威股份等龙头企业开始了TOPCon与异质结设备的研发 。
左雷认为：“预计未来3-5年 ， TOPCon与异质结将迎来快速发展期 。为此 ， 我们一方面通过高端人才、技术的引进和充分发挥现有技术骨干的智慧 ， 聚焦于TOPCon与异质结核心工艺装备技术深研 。另一方面也会着手于未来一些例如钙钛矿叠成电池、IBC工艺路线的调研和布局 。”


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发力国内外应用市场
左雷指出 ， 我国正在构建以新能源为主体的新型电力系统 ， 大力发展新能源光伏产业成为实现我国“双碳”目标的必然选择 ， 着力提升光伏产业技术水平是加快构建以新能源为主体的新型电力系统的必由之路 。光伏产业技术起源于半导体制造技术 ， 继承了半导体一代产品需要一代工艺 ， 一代工艺需要一代设备的发展特性 。高端光伏装备制造水平支撑了光伏产业的飞速发展 。

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