“这是一个多物理量的模拟 ， 其中不仅能展现气体的流动 ， 还能反映温度场、压力场的情况 。”王钢告诉采访人员 ， 十余年来的研发形成了成熟的数据库和软件包 ， 他们可以凭此技术实时监控反应过程 ， 并精准地预测薄膜材料的长速和均匀性 ， 如此可缩小开发材料的时间且提高材料的良品率 。
“我们有些应用已经超越国际同行 。他们没想到的应用 ， 我们也开发出来了 。”王钢对采访人员说道 ， 关键核心技术一定要慢慢熬出来 ， 此次团队去申报“科创中国”先导技术榜 ， 并非在意外界评价 。他们希望借此寻得机会将装备落地 ， 为中国第四代半导体材料产业贡献力量 。
文/广州日报·新花城采访人员：龙锟 通讯员：李建平
图/广州日报·新花城采访人员：苏俊杰 实习生：林潇雅
视频/广州日报·新花城采访人员：苏俊杰、龙锟 实习生：林潇雅
【为了这种超强半导体，他们默默熬了十年】广州日报·新花城编辑：龙成柳

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