日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入 。
据格科微表示 ， 目前 ， 格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收 ， 相关厂务系统配备进展顺利 ， 共有六十一台设备已经搬入 。未来 ， 外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入 。
格科微表示 ， ArF光刻机的成功引入 ， 是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点 。

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【格科微成功实现——先进arf光刻机】依托自有工厂即格科半导体的先进制程 ， 格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度 ， 并在自有工厂实现批量生产验证 ， 从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期 。
据了解 ， 该项目总投资约155亿元 ， 建设一座12英寸、月产6万片的芯片厂 ， 建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线 ， 预计年底达到量产状态 。
今年2月 ， 格科微披露2021年度业绩快报 。报告期内 ， 公司实现营收70亿元 ， 同比增长8.44%；实现归母净利润12.59亿元 ， 同比增长62.78%；扣非净利润12.03亿元 ， 同比增长57.09% 。

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