该项目创新了超高纯金属溅射靶材晶粒尺寸及织构控制技术、异种金属大面积焊接技术、精密机加工及表面处理术、全系列分析检测与评价技术 ， 成功制备出超高纯金属溅射靶材 ， 产品具有良好的稳定性和一致性 ， 建成了年产五万枚靶材的生产基地 ， 具有显著的经济效益 。同时 ， 该项目填补了国内靶材产业空白 ， 该项目对提升我国集成电路、平板显示工艺及材料技术的自主创新能力 ， 推动和发展我国电子信息产品的技术进步和产业安全起到了重要作用 。
上游新闻采访人员 付迪西
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