本文转自：新民晚报
【第一本介绍集成电路“复旦工艺”的教材出版】
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日前 ， 复旦大学微电子学院李炳宗教授团队编著的《硅基集成芯片制造工艺原理》正式出版 。这本书凝聚了李炳宗几十年的教学与科研心得 ， 也是复旦大学微电子学院的一项重要学术成果 。中科院院士王阳元为这本书撰写序言 ， 序言中不仅对这本书进行评介 ， 同时分析了我国微电子产业的现状与未来发展 。
教材建设是人才培养的核心要素之一 。作为一部教材 ， 《硅基集成芯片制造工艺原理》关注芯片新技术 ， 书中既介绍了在先进芯片制造中已被采用的新工艺 ， 又列举了被业界普遍看好的未来器件候选者 ， 对这些新成果的讨论有益于缩小教材与最新研究课题之间的距离 。
除此之外 ， 教材还特别注重分析工艺技术规律及其多重作用 ， 对芯片制造的各种技术规律演进进行了深入讨论 ， 在各专题章节中 ， 对各种相关物理、化学规律都有详实的阐述与分析 。
“不仅可以作为高等学校相关专业的教材 ， 又可作为产业的工程技术人员和科研领域的科技人员的参考书 ， 对推进我国集成电路人才培养、产业发展、科技创新将发挥积极的、有成效的作用 。”王阳元在序言中这样评价 。
“很多人是读着黄昆、谢希德合著的《半导体物理》 ， 进入半导体科技领域的 。”李炳宗回忆道 。这部由两位“大先生”亲自编纂的教材出版于1958年 ， 是我国最早的半导体学术专著 。
1958年 ， “半导体之母”谢希德先生在复旦大学创办了半导体物理专业 ， 奠定了复旦微电子学科扎实的办学根基 。自创立以来 ， 该专业在我国微电子领域的发展中一直处于领先地位 。上世纪60年代 ， 该专业研制成功多谐振荡器和锯齿波发生器两种锗集成电路 ， 是我国试制成功的第一批集成电路样管 ， 比2000年诺贝尔物理学奖得主Jack Kilby在世界上首次成功制得锗集成电路仅迟了约一年时间 。
1962年 ， 李炳宗进入复旦大学 ， 在谢希德先生的领导下开展半导体专业的教学和科研工作 。“谢先生一直非常关注微电子科技进步和人才培养 。当年她的亲切教导、建议和决断 ， 引导、影响了我们的人生轨迹和专业成长 。”李炳宗在前言里这样回忆 。
在复旦 ， 李炳宗坚持教学三十余年 ， 始终致力于为国家培养集成电路核心技术的开拓者、交叉领域的探索者和关键产业的领军者 。与此同时 ， 他也亲眼见证了复旦微电子学科的不断发展壮大 。
李炳宗希望以此书纪念中国半导体科学技术的开拓者和复旦微电子学科的奠基人谢希德 。
新民晚报采访人员 张炯强

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