韩国sic产业链布局情况( 二 )

2022-04-20

此外钢铁公司POSCO过去投入了10年时间开发SiC单晶，目前POSCO正在开发接近商业150mm和100mmSiC衬底技术。
外延片方面， 2021年12月， LXSemicon收购了LGInnotek的SiC半导体有形资产（设备）和无形资产（专利），宣布进军SiC半导体领域。LXSemicon是韩国最大的Fabless企业，也是LG集团控股公司“LX控股”旗下5家关联公司之一，原名是Siliconworks 。作为国家级项目， LGInnotek的SiC元件项目自2019年开始发展，拥有一定的技术储备。如今， LGInnotek将晶圆、器件等SiC材料和相关设备转让给LXSemicon 。据韩媒的报道，预计LXSemicon也将开发8英寸SiC半导体材料及元件。就材料来说， LXSemicon开发SiC外延片的可能性很大。
在SiC生产材料方面， HANAMaterials公司主要生产电极之间的阳极材料(电流通过半导体的部分)和半导体蚀刻过程中环绕圆形硅晶圆的硅环。他们也用化学气相沉积(CVD)技术制造SiC涂层产品（Coating）和专门的CVD方法生产SiC环（Ring）产品。该公司成立于2007年， 2013年该公司建设了SiC的生产线。

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SiC涂层

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【韩国sic产业链布局情况】CVD-SiC环
SKCSolmics成立于1995年，是韩国精细陶瓷的先驱。公司生产氧化铝和硅、碳化硅、石英等精细陶瓷产品。在SiC方面， SKCsolmics正在开发用于半导体低压化学气相沉积(LP-CVD)工艺的tubes和boatsalctartar产品。其中boat产品是在热氧化扩散CVD工艺中，用于将晶圆运送到下一道工序的容器形产品；tube是在热氧化扩散CVD过程中覆盖船型产品。采用高纯度气流响应烧结法生产，可进行300mm晶圆热处理，具有高纯度和优异的耐热性。目前，用于扩散工艺和LP-CVD工艺的碳化硅产品均为进口产品。因此，预计大规模制造可以随着新的销售而实现进口替代效应。
在SiC器件领域， TRinnoTechnology公司主要生产SiCJBS以及SiCMOSFET ， 2021年12月20日，韩国iA集团子公司TRinnoTechnology负责人透露，他们考虑在中国为SiC半导体建一条新生产线，主要用于电动汽车领域。TRinno正在寻求向韩国汽车制造商供应SiC半导体，目标是在2022年下半年将SiC应用到汽车上。TRinnoTechnology正在评估其在下半年将其SiC半导体应用于量产汽车的电子部件的目标。
YesPowerTechnix（YPT）是一家专业化的SiCIDM公司，该公司成立于2017年。YPT既生产生产600-1200V的碳化硅肖特基二极管和1200V的碳化硅mosfet ，还提供SiC代工服务，包括设计和定制工艺开发。目前具有4英寸SiC生产能力，月产能1500片。2021年1月， SK集团向该公司投资了268亿韩元， YesPower将建设新的6英寸SiC工厂，预计到2022年将SiC功率器件的产量翻一番。
韩国车企也加入了自研SiC的大军。2021年9月，据《首尔经济日报》报道，韩国现代汽车计划在内部开发以SiC技术为基础的功率芯片，将被应用到2022年第二季度推出的一款新车上，也就是电动汽车Ioniq6 。
在SiC设备方面，韩国的STI是一家主要研发半导体石英玻璃电炉、SiC半导体生长炉等设备的设备公司。目前STI自主研发了SiCPVT生长炉，成功的开发出纯度为99.9998%的5N级锭粉，实现了韩国关键半导体材料碳化硅(SiC)锭粉的本地化。

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STI的SiCPVT生长炉

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