精密划片机解说UVLED解胶机在晶圆芯片行业的应用及原理
UVLED解胶机是用来解除UV胶膜和切割膜胶带之间粘结的全自动解胶设备 。许多晶圆半导体行业在生产过程中 , 需要先把晶圆切片用划片胶固定起来 , 然后进行划片加工处理 , 最后通过UVLED光源对固定好的晶圆切片进行照射 , 使晶元切片上的UV胶膜发生硬化 , 从而降低与切割膜胶带之间的粘性 , 从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来 , UVLED解胶机完美的解决了晶圆行业、玻璃制品和陶瓷切割上的解胶工序 。
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UVLED解胶机采用箱体式结构 , 机器内部配有UVLED紫外光固化设备 , 可根据客户的使用需求 , 定制波段大小、照射面积、光照强度等参数 。采用智能显示屏控制系统 , 可随意调节功率大小、照射时长 , 使用非常方便!同时UV脱胶机箱口采用手拉式结构 , 方便晶圆切片的放置和取出;另配有门禁感应装置 , 拉动箱口门把手时 , UVLED光源设备会自动停止 , 避免紫外光源的外溢 。
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UVLED解胶机还有哪些优势之处呢?UVLED紫外光是单波段“冷光源”设备 , 被照射基材表面升温小 , 有效解决了晶圆行业在加工处理时产生的热损害现象 。UVLED解胶机的光源设备使用寿命比较长 , 平均使用寿命大约在20000h左右 , 远超传统UV汞灯的使用时长 。UVLED光源是单波段紫外光 , 通过电能向光能的转换 , 光电转换有效率高 , 可有效节约电量的使用 。不含“汞”污染 , 工作时不会产生臭氧 , 影响工作环境!
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陆芯精密划片机于2022年3月24日下线了公司首台6寸晶圆尺寸的专用划片机:XL3252 , 目前已经开始接受全球预定 。
【精密划片机解说UVLED解胶机在晶圆芯片行业的应用及原理】此次陆芯推出的6寸专用精密划片机 , 在软件方面继承和优化了公司最新的软件技术 , 如:工件形状的识别和功能 , 更友好人机界面 。由于机械结构和电子结构相对最先进的XL-6366要简单 。所以 , 在设备后期的维护成本上会更低 , 这对于只需要用到6寸划片机的厂商来讲无疑是个巨大的福音 , 并且陆芯在设备的交货周期上 , 也比最先进的设备交期提前不少 。
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