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试验发现对当主轴转速n＝35000r／min ， 进给速度v＝5mm／s ， 划切深度a＝50μm时对蓝宝石的划切效果最好 。切割道宽度为248.69μm ， 相对缝宽为0.995 ， 最大崩边宽度为6.94μm 。如图a）和b）所示为划切深度分别为a＝100um ， a＝50um时 ， 不同划切工艺参数下蓝宝石开槽划切的形貌图 。

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通过试验及测量发现 ， 随着主轴转速的增加 ， 切缝宽增大 ， 即相对缝宽增大 ， 而随主轴转速增大切割道崩边情况在一定程度上有所改善 。进给深度对相对缝宽的影响较小 ， 随着进给速度增加 ， 崩边宽度有减小趋势 。划切深度对崩边宽度影响很大 ， 增大划切深度刀片磨损趋势加剧 。
【陆芯半导体蓝宝石基片在精密划片机中划切实验】
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